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真空模組
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真空運動模組
  • 真空運動模組
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真空運動模組

真空模組，可以在107Pa的真空環境下運行，耐低溫-196℃高溫+200℃，真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。此系列產品主要應用于真空室，高溫室，高潔凈度環境。
    真空模組

    真空模組：特點

    一體化設計，可靠易用。

    標準化設計制造60、90、120三種規格，可定制其它規格

    工作環境溫度-196℃至+200℃

    適用真空度10-7Pa


    訂貨型號

    真空模塊主體寬度
    		行程導程電機接口等級傳感器數量
    VC

    60

    90

    120

    50

    100

    150

    .....

    800

    2

    3

    4

    6

    8

    25

    35

    M0(標準接口)

    M1(定制)

    NT-L1

    NT-L2

    NT-L3

    HT

    L*H

    L1

    L2

    L3

    * 在 50～800mm行程內都可以定制


    真空直線模組.jpg

    真空材料燒結（高溫+150℃，真空度10-1Pa）


    等級

    等級代碼


    溫度等級

    ℃ (℉)

    真空度

    Pa (mbar)

    NT-L1

    -20～+85

    (-4～+185)

    		-
    NT-L2

    -20～+85

    (-40～+185)

    		-
    NT-L3

    -60～+85

    (-76～+185)

    		10^1（10^3)
    HT

    -20～+150

    (-4～+302)

    		10^3（10^5)
    SHT

    -20～+200

    (-4～+392）

    		10^7（10^9)
    LT

    -100～+40

    (-148～+104）

    		10^7（10^9)
    SLT

    -196～+40

    (-320.8～104）

    		10^7（10^9)
    L* H*定制定制


    真空模組.png真空模組.png

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